協會成員動態：黎明化工研究設計院有限責任公司

公司承擔國家科技重大專項進展順利

日前獲悉，公司承擔的國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”之子項目“高純四氟化碳和六氟化硫研發與中試”，項目研發進展順利，部分技術已實現產業化應用。

公司接到國家相關項目立項批復后，積極選調科研人員，組建項目團隊。項目團隊在現有氟化物工藝基礎上，勇克難關，不斷突破產物合成、精制提純、雜物分析、潔凈充裝等關鍵技術，并投入300余萬元建成標準化潔凈間，保證產品質量，也為公司含氟電子氣體產品的推廣搭建良好的展示平臺。

截止日前，公司已完成高純六氟化硫和高純四氟化碳生產試驗，試制出滿足指標要求的產品，并通過客戶驗證，并完成5項專利申請（其中發明專利3項，實用新型專利2項），發表研究論文3篇。

在研發基礎上，公司高純六氟化硫已實現工業化生產，產能已由最初的年產50噸逐步改擴建為1000噸/年，年產值5000萬以上，電子級四氟化碳產品也提交客戶使用，市場反應良好。

公司相關負責人認為，在工業六氟化硫市場競爭加劇、產能過剩，價格大跌的情況下，推進氟化物產品結構調整勢在必行，氟化物公司借助國家科技重大專項的平臺，進一步加快科技創新及產業化發展步伐，成功實現由工業級向高純級、多品種等高性能、高附加值產品轉型升級，助推利潤提升，并拓展含氟電子特氣在半導體領域的應用市場，滿足目前和今后一段時期內極大規模集成電路的需求，逐步實現相關產品的國產化。

（摘自黎明化工研究設計院有限責任公司）